亿博体育官网入口今天我们来说说半导体行业的设备。半导体需要多种设备，包括光刻机、刻蚀机、离子注入设备，以及研磨、清洗、测量、晶圆等设备。
在其中一些品类中，国内企业与国际先进水平还有很大差距，但国产化趋势不可阻挡。今天，我们将重点分析半导体清洗设备的细分。
01清洗是芯片生产的重要环节
亿博体育官网入口在整个半导体生产过程中，清洗几乎贯穿每一个环节。为了尽量减少杂质对芯片良率的影响，在实际生产过程中不仅需要单次清洗，几乎所有工序都需要前后反复清洗。
由于芯片制造需要在无尘室中进行，制造过程中的任何污染都会影响芯片的正常功能。如果不及时清理其上的杂质，可能会导致后续工艺故障、电气故障甚至芯片报废。
亿博体育官网入口因此，清洗是芯片制造过程中最大的工序，占所有芯片制造工序的30%以上。而且，芯片工艺进入28nm、14nm等更先进的工艺后，工艺流程越来越复杂，良率也会下降。
造成这种现象的原因之一是先进工艺对杂质更敏感，更难以高效清洗小尺寸污染物。解决方法是多洗几次。
所以现在每个晶圆在制造过程中甚至需要超过 200 道清洗步骤，晶圆清洗变得越来越复杂和重要。
根据清洗介质的不同，清洗技术可分为湿法清洗和干法清洗。
湿法清洗是利用各种溶液通过腐蚀、溶解、化学反应等方法去除杂质或使其脱落。干洗是指不依赖化学试剂，而是采用等离子清洗或气象清洗的清洗技术。目前市场以湿洗为主。
在湿法清洗技术路线下，清洗设备可分为单片式清洗设备、罐式清洗设备、间歇式旋转喷淋清洗设备和洗涤器爱阔特(上海)清洗设备制造有限公司，其中单片式和罐式清洗设备是目前主流的清洗设备。主流清洗设备。
单晶片清洗是将晶片一个一个放入每个腔体中进行喷淋清洗。虽然清洗比较彻底，但效率较低。水箱清洗就像洗碗机。虽然成本低、效率高，但浓度难以控制，易相互污染。
因此，目前单片清洗已逐渐取代罐式清洗，成为清洗设备的主流。
02半导体装备产业迎来新发展
在5G、物联网、汽车电子、云计算等需求的推动下，半导体市场需求持续增长。
半导体厂商资本支出的增加将带动设备市场的快速增长。
据SEMI统计，全球半导体设备市场从2013年的318亿美元增长到2020年的712亿美元，年复合增长率为12.21%，2020年同比增长19.15%。
预计2021年全球半导体设备市场规模将增至953亿美元，同比增长33.85%，2022年将突破1000亿美元。
此外，中国半导体设备销售额从2013年的33亿美元增长到2020年的187亿美元，年复合增长率达27.70%爱阔特(上海)清洗设备制造有限公司，远超全球市场增速。
在国家政策的大力支持和产业蓬勃发展的推动下，大陆半导体企业扩大了资本支出。
随着半导体制造硅片产能不断向中国转移，该机构预计中国将成为 2020 年至 2025 年间唯一增加产能份额的地区。
有各种半导体设备。根据Gartner数据，清洗设备占晶圆制造设备的4%以上。
2018年全球半导体清洗设备市场规模为34.2亿美元。2019年和2020年，受全球半导体行业景气度下降和新冠疫情影响，全球半导体清洗设备市场规模分别下滑至30.5亿美元和25.4亿美元。
2021年开始，全球半导体产业将复苏，设备市场规模将扩大。半导体清洗设备市场将呈现逐年增长的趋势。预计2024年全球半导体清洗设备市场规模将达到32亿美元。
从结构上看，单片机清洗设备占比74.63%，是当前市场的绝对主流。
而且，除了受益于半导体行业的日益繁荣爱阔特(上海)清洗设备制造有限公司，清洗设备也在不断升级。
一方面，集成度在提高，从90nm到7nm以下；另一方面，半导体晶圆尺寸不断扩大，现阶段主流尺寸已从4英寸、6英寸发展到8英寸、12英寸。此外，半导体器件的结构变得越来越复杂。
这些都对清洗设备提出了更高的要求，不仅销量会增加，单台价值也会不断提升。
03国产化替换逐步进行
全球半导体清洗设备龙头主要有Deans、Tokyo Electronics、韩国SEMES、Ram Research。
其中，迪恩斯处于绝对领先地位，2020年占据全球半导体清洗设备市场份额的45.1%，东京电子、SEMES和Ram Research分别占据约25.3%、14.8%和12.5%的份额。
我国半导体清洗领域的重要玩家包括知春科技、盛美半导体、北方华创、鑫源微等爱阔特(上海)清洗设备制造有限公司，国内厂商虽然起步较晚，但追赶势头强劲。
目前，半导体清洗设备国产化率维持在10%~20%，突破速度最快，国产化率超过大部分其他设备。
此外，国家基金二期加大了对设备厂商的投入，投资规模大于一期，国内设备厂商迎来发展良机。
设立大型投资基金，比补贴政策更能精准支持有需要的企业。今天看到的很多知名半导体公司都是大基金一期的投资标的。相信第二阶段也会带动一大批企业继续做强。
04 家用清洁设备重要指标
接下来我们来说说这些国内半导体清洗设备厂商的发展情况。
1.纯技术
智纯科技的主营业务包括高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光学传感应用和光学元件。
公司湿法工艺设备有槽式和单片式两种。产品涵盖晶圆制造、先进封装、太阳能等众多下游应用。旗下智微科技获得大基金二期投资。
该公司目前能够提供 28nm 节点的所有湿法工艺。更先进的14nm~7nm工艺已获得4台机多工艺的正式订单，将于2022年交付客户产线进行验证。
公司目前的单片清洗设备为8~12反应室，将开发满足高端工艺应用的多反应室、18室等设备。
公司湿法加工设备已切入一线客户，包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、延东、台湾力晶等，均为下游龙头。
此外，湿法工艺设备收入增长较快。2019年、2020年和2021H1分别为8200万元、2.18亿元和2.69亿元，分别占收入的8.32%、15.60%和29.24%。
2、盛美股份
盛美股份有限公司就是前段时间上市的盛美上海。它是具有世界领先技术的半导体清洗设备的领导者。其主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进的封装湿法设备。
公司在12英寸线清洗设备行业处于行业领先地位，产品线丰富，清洗设备收入国内第一。
凭借先进的技术和丰富的产品线，公司产品得到了国内外多家主流半导体厂商的认可，包括海力士、中芯国际、华虹集团、合肥长鑫等国内外一流客户。
更重要的是，公司主要营收来自半导体清洗设备，2020年营收8.16亿元，占总营收的81%。
此外，先进包装湿法设备收入增长较快。2020年营收9900万元爱阔特(上海)清洗设备制造有限公司，同比增长148%，营收占比从2019年的5%提升至2020年的10%。
3. 北华创
北方华创主要从事半导体设备、真空设备、新能源锂电池设备及精密元器件，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。
公司拥有丰富的产品线，包括蚀刻机、PVD、CVD、ALD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机等。
2018年，NAURA收购美国半导体清洗设备公司Akrion，完善清洗设备生产线。现可提供各类单片机清洗设备和槽罐清洗设备，适用于65nm和28nm技术节点的芯片制造。
4.芯源微
鑫源微目前的主要产品有涂胶/显影机、喷胶机等光刻工艺涂胶显影设备，以及清洗机、去胶机、湿法刻蚀机等单片机湿法加工设备。
亿博体育官网入口公司生产的前端自旋洗涤器清洗机设备达到国际先进水平，并成功实现了进口替代。来自 Fab 制造商的大量重复订单。
